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氣體純化系統(tǒng)
在對高精密光通信、激光器、傳感器器件進(jìn)行同軸封裝或蝶形封裝時，不僅需要密閉的惰性氣體環(huán)境，同時還需要保持箱體內(nèi)的水氧含量小于5PPM，為了維持水氧含量穩(wěn)定保持在規(guī)定的數(shù)值區(qū)間，就需要加裝氣體純化系統(tǒng)，該系統(tǒng)能將手套箱內(nèi)的氣體不間斷地循環(huán)，然后經(jīng)過氣體凈化設(shè)備把手套箱體內(nèi)的水氧和有機(jī)溶劑雜質(zhì)除去。
- 系統(tǒng)組成
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該系統(tǒng)由高密封手套箱、氣體純化裝置、除煙塵裝置、水氧分析儀等主要部件組成。
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